測定ﾋﾟｰｽｻｲｽﾞ：
φ35mm厚さ10mm以下
観察前にﾜｰｸにｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ実施要
| 設備名 | ﾒｰｶ | 仕様 | 用途 |
| 電子顕微鏡(SEM) | 日立製作所 | 倍率：x30～x800k 測定ﾋﾟｰｽｻｲｽﾞ： φ35mm厚さ10mm以下 |
加工穴断面の観察 観察前にﾜｰｸにｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ実施要 |
| 光学顕微鏡 | ｵﾘﾝﾊﾟｽ | 倍率：x5～x100 ﾃｰﾌﾞﾙｻｲｽﾞ：400x250 ﾊﾞｯｸﾗｲﾄ |
加工面・加工穴観察 |
| レーザ３Ｄ顕微鏡 | ｵﾘﾝﾊﾟｽ | 倍率：x5～x100 ﾃｰﾌﾞﾙφ100mm |
加工面・加工穴の ﾌﾟﾛﾌｧｲﾙ測定 |
| 研磨 | BUEHLER | #1200～#4000 | 加工穴断面観察の為の磨き作業 |
| CNC三次元測定器 | ﾐﾂﾄﾖ | 測定範囲(mm)： X1,605 Y5,005 Z1,205 測定重量：最大3000kg 温度自動補正機能 |
超大型精密部品の精度測定 |
| CNC三次元測定器 | ﾐﾂﾄﾖ | 測定範囲(mm)： X1,205 Y4,005 Z1,005 測定重量：最大5000kg 温度自動補正機能 |
大型精密部品の精度測定 |
| 三次元測定機 | MicroVu | 測定範囲(mm)：X650 Y680 Z160 | 加工穴径・穴位置測定 |