1968年8月
株式会社日立製作所の工作機部門が分離・独立し、
川崎市に日立精工株式会社設立
1972年3月
日立精工エンジニアリング株式会社を設立
1974年10月
株式会社日立製作所より溶接機部門を移管
1981年1月
本社工場を海老名市に移転
1987年12月
Hitachi Via Mechanics (USA), Inc. を設立
1992年3月
Hitachi Via Asia Pte. Ltd. を設立
1999年4月
日立ビアメカニクス株式会社に社名変更
2003年4月
日立維亜機械(上海)有限公司を設立
2007年2月
Air Bearings Ltd. (U.K.) を連結子会社化
2009年1月
株式会社小野測器よりマスク露光機事業を譲受
2009年1月
日立維亜機械(常熱)有限公司を設立
2010年4月
日立ビアエンジニアリング株式会社を吸収合併
2012年7月
台湾日立維亜機械股份有限公司を設立
2013年11月
株式会社日立製作所からロングリーチグループへの株主変更に伴い、社名をビアメカニクス株式会社に変更
2018年5月
本社を厚木市に移転 工場を御殿場市に移転
2021年4月
株主が*APグループに異動
*APグループ: 株式会社アドバンテッジパートナーズがサービスを提供するファンド